近年来,12英寸晶圆已成为芯片产业的主要发展趋势。相较于8英寸圆晶,12英寸圆晶不仅降低了单位芯片成本,还提升了芯片性能,从而满足5G、物联网、人工智能等高端领域的市场需求。根据SUMCO发布的全球12英寸硅片需求预测数据,预计到2025年全球12英寸硅片的需求将达到910万片/月。随着12英寸半导体的扩产步伐加快,行业对上游超纯水市场的需求也在不断增长,同时对超纯水质量提出了更高要求。

高端半导体对超纯水纯度和稳定性要求严格

在半导体制作工艺中,80%以上的工序要经过化学处理,而每一道化学处理都需要超纯水的参与。超纯水的生产标准极为严苛,任何细小的污染物,如颗粒物菌群落、TOC、金属离子等指标稍有异常,就会影响到半导体元器件的性能及合格率。比如,TOC(有机碳)含量过高可使功率器件电学性能变坏,硅和硼含量过高会使芯片良率下降。芯片越高端,所需纯水的纯度就越高,背后的制备工艺就越愈加复杂。

此外,超纯水配送的稳定性是一大考验,任何管道内压力波动、水流速减缓或管道材料选择不当,都可能影响超纯水的质量。确保超纯水高质量配送,是半导体行业追求极致品质道路上不可或缺的一环。

高频科技立足超纯工艺突破,助力半导体企业攀升市场高点

在高端半导体生产制造领域,超纯水市场作为上游关键产业,正致力于通过工艺创新来提升自身的技术水平和服务能力,以满足不断升级的半导体产业需求。这种创新不仅涉及超纯水的生产工艺,还包括了水的存储、配送和使用的全程监控与控制等先进技术。

作为深耕行业二十余年的超纯水系统供应商,高频科技是国内极少数能够在芯片领域提供超纯水系统的企业,亦是国内首家具备12英寸14nm芯片产线超纯水制备能力的系统供应商。面对半导体产业对超纯水品质日益严苛的要求,高频科技不断突破传统工艺界限,将多介质过滤、活性炭吸附、精密离子交换、高效反渗透膜技术、紫外线杀菌及TOC(总有机碳)深度去除等超过18项先进处理工艺融合,形成了一套复杂而精细的超纯水制备体系,实现了水质的突破,达到99.9999999999%的(ppt级别),为半导体制造提供了坚实的保障。

在半导体洁净车间中,超纯水的稳定供应是确保生产连续性与产品质量的生命线。为此,高频科技精心设计了先进的供回水管道系统,采用循环供水机制,确保24小时不间断的活水供应,有效避免了死水区域的产生,降低了细菌滋生的风险。同时,系统针对大流量需求进行了优化,确保在任何生产强度下,水流速度都能保持充足,进一步巩固了超纯水的品质稳定性。

此外,高频科技还致力于为客户提供全方位的定制化服务和数字化运维支持。通过集成故障预警、设备远程监控、水质实时评估、系统持续优化及专家咨询等多元化服务,高频科技能够确保超纯水系统的长期稳定运行,帮助客户最大化地发挥系统效能,降低运维成本。这种以客户为中心的服务理念,赢得了众多知名半导体企业的广泛信赖与好评。

展望未来,随着全球半导体产业持续向高端化、精细化迈进,特别是12英寸晶圆成为主流趋势,半导体企业对超纯水品质与供应稳定性的追求将达到新高度。高频科技作为聚焦于芯片制造等电子核心产业的超纯水系统供应商,将继续站在技术创新的前沿,不断突破自我,以更加先进的超纯工艺,为半导体产业的发展提供坚实支撑。

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