摘要：2023年12月17日，2023 年度北京市电子显微学年会于北京四川五粮液龙爪树宾馆盛大召开，惠然科技携首台国产拉曼集成扫描电子显微镜F6000-RS首次亮相展会，惠然科技副总工程师杨润潇先生发表《风雅颂之“风”F6000-RS首台国产拉曼集成扫描电子显微镜》主题演讲。

关键词：国产首台；电镜拉曼联用；高集成与自动化；高空间分辨率；灵活配置方案

▲发布现场

01 电镜拉曼联用F6000-RS发布

惠然F6000-RS是一款基于FE-SEM F6000场发射扫描电镜推出的拉曼集成一体化设备。F6000-RS在FE-SEM整机“风”系列F6000大视野、高速、高精度成像的基础上，集成高空间分辨率拉曼共聚焦光路，弥补了能谱仪、波谱仪等传统电镜附件无法实现的分子结构与成分观察，针对碳基复合材料、无机盐、氧化物、有机物等材料有无可比拟的组分分析优势。F6000-RS通过耦合拉曼共聚焦光路进入真空样品仓，实现了样品在电子束和激光束之间的快速切换；SEM “风”F6000拥有6 mm无畸变视野及1 nm的分辨率，结合共聚焦Raman 2.5mm扫描范围及500nm横向1500nm纵向分辨率，是一个优秀的样品微观形貌观测与分子组分分析平台，，实现从宏观到介观到微观的绝佳SEM成像与光谱分析使用体验，助力科研工作者进行深度的科学研究。

▲F6000-RS产品图

惠然F6000-RS具有三大核心技术优势：

● 高集成&自动化

快速双光轴一键切换，搭载高精度复合位移台可实现样品在拉曼光束和电子束之间的快读、精确、稳定的切换，拉曼扫描范围达2.5mm。

● 高空间分辨率

针孔共聚焦分辨率可达500nm。

● 灵活配置方案

拉曼光谱集成方案提供了多种配置供用户选择，例如光谱仪、激光源、物镜等均可定制，满足应用及市场多样化需求。

表1 拉曼光谱指标

此次惠然重磅推出的F6000-RS，是中国第一台真正意义上实现拉曼光谱与扫描电镜联用的设备，电镜与拉曼均为国产正向自主研发，除此之外，还配备惠然科技自主研发的电镜平台操作系统，可通过软件程序实现F6000-RS拉曼渲染结果的像素与光谱数据对应关系的直接提取，提供便捷的结果解析。

演讲结束后，副总工程师杨润潇先生邀请现场专家学者莅临惠然展台或亲临企业对惠然的产品研发进行指导，他表示，各位专家学者对惠然产品研发提出的意见建议能够使惠然更加贴近客户需求，作为国内正向自主研发的电镜制造商，我们有信心也有能力适应客户各种应用场景下的定制化需求。

02展台回顾

惠然科技本次携F6000-RS亮相北京电子显微学年会，吸引了大量高校院所、业界企事业单位等电子显微学领域专家学者驻足交流，客户对拉曼集成技术路线、产品功能以及产品应用场景等方面表达了强烈好奇，惠然科技工程师、销售人员对其逐一热情解答，客户表示希望有机会与惠然展开深度合作。

▲展台现场回顾

未来，惠然将持续秉承“探索、包容、创新、成长”的企业理念，致力于打破科技封锁，坚持自主正向研发，关注供应链国产化率，不断拓展产品线与应用领域，为客户带来更多高端国产场发射扫描电镜以及电子束检测设备。

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责任编辑：kj005