2025年4月25日晚，微导纳米（688147.SH）发布2024年年度报告。报告显示，2024年度，营业收入及营业毛利同比增长，全年实现营业收入27亿元，同比增长60.74%；营业毛利10.80亿元，同比增长51.73%。归属净利润2.27亿元，同比下滑16.16%，扣非净利润1.87亿元，同比下滑0.45%。半导体设备收入占比扩大，光伏设备订单转化和验收保持良好。

对于2024年净利润增速不及营业收入的表现，行业分析人士指出，这主要源于微导纳米主动加大研发投入以强化技术护城河，同时业务规模扩张带来相应的成本上升。作为技术驱动型高端装备企业，微导纳米持续加码半导体ALD+CVD设备、光伏电池核心装备等前沿领域的研发，2024年研发费用同比显著增长。业内普遍认为，这种战略性的资源倾斜将加速核心技术突破和产品迭代，进一步增强微导纳米在半导体、光伏等高端装备市场的差异化竞争优势。

分析人士强调，在行业技术快速变革的背景下，持续的研发高投入是企业保持长期竞争力的关键。微导纳米通过前瞻性的技术布局，不仅能够巩固现有市场地位，更有望在下一代工艺装备领域抢占先机，为未来业绩释放积蓄动能。

值得关注的是，微导纳米2024年度拟派发现金红利约1,997.48万元，已回购金额超过7,289.72万元，2024年全年现金分红和回购金额合计合计9,287.20万元，占本年度归属于上市公司股东净利润的比例40.97%。

半导体在手订单充足

作为国内半导体薄膜沉积设备领域的技术引领者之一，微导纳米抓住下游产业链核心客户产能扩张和技术创新的机遇，持续加大研发投入和市场拓展力度，近年在半导体业务领域实现跨越式增长。

报告显示，2024年微导纳米半导体业务实现突破性进展，全年收入达3.27亿元，同比增长168%，呈现加速发展态势。目前，半导体业务收入占比已达主营业务收入的12.14%，正快速成长为微导纳米高质量发展的核心增长极。

在战略布局持续显效的背景下，订单储备增速迅猛。截至2024年12月31日，微导纳米半导体业务在手订单总额67.72亿元，光伏领域、半导体领域和新兴应用领域在手订单分别为51.88亿元、15.05亿元和0.79亿元，其中半导体领域在手订单同比大幅度增长65.91%，反映微导纳米在该集成电路领域的技术实力已经获得行业认可，战略布局持续显效。

与此同时，得益于持续的自主创新，微导纳米在集成电路专用ALD/CVD设备方面不断取得了关键技术突破。2024年，微导纳米ALD设备在高介电常数材料、金属化合物薄膜等领域实现了产业化应用并取得批量重复订单，实现了行业主流ALD薄膜材料及工艺的全覆盖。CVD设备在硬掩膜等关键工艺领域实现重大突破，量产设备成功进入存储芯片领域先进器件产线并完成验收。该产品凭借优异的性能和可靠性，正快速成长为继ALD设备之后的又一具备核心竞争力的产品线，未来将为微导纳米带来持续稳定的现金流回报。

研发投入同比增长36.01%

2024年微导纳米持续强化研发创新优势，研发投入规模和强度仍然保持较高比例，根据财报显示，2024年，微导纳米研发投入为4.19亿元，同比增长36.01%，其中半导体业务研发投入占比超60%，显示了微导纳米在核心技术攻关方面的战略定力。

在“自主创新+应用创新”的双轮战略驱动下，微导纳米已成功构建半导体设备、光伏设备和新兴领域三大业务增长极。通过持续的高强度研发投入，正在加速实现从国产替代到技术引领的升级，也直接推动了ALD、CVD设备在关键技术节点的重大突破。

在半导体领域，微导纳米瞄准先进制程，不断探索原子层沉积（ALD）和化学气相沉积（CVD）两大核心技术在半导体领域的产业化应用。

值得一提的是，微导纳米开发的国内首台成功应用于集成电路制造前道生产线的量产型High-k ALD设备，解决了国内集成电路突破28nm制程节点高介电常数（High-k）栅氧层薄膜核心工艺，弥补了国内的量产技术空白，同时微导纳米也凭借着核心技术指标达到国际先进同类水平的领先技术优势，获得大量重复订单。

此外，2024年微导纳米作为国内首批成功开发并进入产业链主流核心厂商量产线的硬掩膜化学气相沉积设备（CVD）国产厂商，也实现了相关领域国内高端CVD设备技术和产业化突破，实现了高蚀刻选择比、高深宽比孔硬掩膜沉积设备的研发、制造与产业化，进一步巩固了微导纳米在高端薄膜沉积设备领域的优势。

业内人士表示，“微导纳米在ALD和CVD领域的不断突破，使得国产设备商逐步具备与国际巨头同台竞技的能力。同时，其在3D NAND、3D DRAM及TSV先进封装等关键技术节点的创新表现，不仅填补了多项国内空白，更通过独特的工艺方案构建起具有自主知识产权的技术护城河。”

积极打造新业务增长点

光伏业务方面，2024年微导纳米在巩固TOPCon优势的同时，加速XBC、钙钛矿/钙钛矿叠层电池整线设备开发。微导纳米表示，未来将紧跟下游行业电池技术迭代和扩产的发展趋势，横向拓宽产品线，提高市场覆盖率，为客户提供ALD、PEALD、PECVD、LPCVD、扩散等配套产品，定位新型高效电池工艺整线设备供应商，稳固自身在光伏领域薄膜沉积设备市场的领先地位。

据悉，微导纳米所掌握的原子层沉积（ALD）等尖端薄膜沉积技术是原子级制造的核心关键技术之一，该技术凭借优良的技术特性，具有广泛的普适性，在半导体集成电路、新能源、新材料等领域均有着重要的应用前景。因此，微导纳米除了在半导体和光伏领域布局以外，还在积极地进行新兴领域前沿化开发。

财报显示，目前，微导纳米已在光学、柔性电子、车规级芯片等几个极具市场潜力的高端薄膜沉积技术应用领域进行产业化验证。微导纳米表示，尽管目前新兴领域的订单量还较小，但受益于柔性电子和精密光学器件等市场需求增加和技术迭代升级，新兴领域高端薄膜沉积技术的应用前景十分广阔。

市场人士认为：“微导纳米在半导体、光伏、新兴领域的布局，有效对冲了单一行业周期波动风险。其技术储备与全球化供应链布局，使其在国产替代和新兴技术爆发周期中具备长期成长性。”

值得一提的是，微导纳米早已将ESG治理深度融入战略决策并计划于本月披露首份ESG报告。在全球半导体产业链加速区域化重构的背景下，通过绿色制造、全球化布局，正从“国产替代”向“国际协作与竞争”迈进。

2025年，恰逢微导纳米成立十周年，过去十年，微导向市场证明了其从技术突围到产业落地的硬核实力，建立了“Leadmicro微导”品牌效应。未来十年，当“ALD+CVD”的技术护城河与多领域协同创新的战略纵深共振，这家力争“成为全球微纳制造装备领导者”为愿景的中国企业，或将在中国智造的世界版图上刻下更深的印记。

责任编辑：kj005

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