5月18日-5月19日，由华林科纳举办的2023泛半导体湿法交流会第五期：化学流体系统技术与应用交流会在江苏南通市成功召开。会议共邀请42家企业参会，参会人员96人。本期交流会安排了学术技术交流报告、流体展示及实操等多种形式的活动，交流高纯流体在湿法领域的技术与应用，并展示了超100种高纯流体产品。

华林科纳此次展厅参展产品包括PFA管（耐盐酸）、PFA入珠接头、PFA扩口接头、PFA焊接接头、PFA手动隔膜阀、PVDF过滤器，PFA磁制液位伸缩计、PFA温度探头、PFA加热丝、PTFE风囊泵、在线加热器等多种产品，并向参会人员展现实时洁净车间生产，获得了业内人士的认可。

PTFE风囊泵

风囊泵工作原理：压缩空气进入泵的气相工作腔后，压缩风囊变形移动，通过换向阀控制压缩空气依次进入两个气相工作腔工作，利用液相腔的交替吸液排液，实现对液体的输送。

华林科纳自主研发PTFE风囊泵，有CSE30、CSE60、CSE120三种型号，无金属设计，安全无泄漏，无橡胶O型圈，不漏水，无需紧固，可满足200万以上的形成周期使用。

风囊泵在湿法腐蚀清洗设备中主要有以下应用：

（1）药液恒温控制：由风囊泵、循环溢流槽、阀门、过滤器、管件、热交换器，制冷机或加热器等组成温度控制系统。通过泵使药液循环并在热交换器内进行热交换用以实现药液的恒温控制。

（2）药液的循环过滤：由风囊泵、循环溢流槽、阀门、过滤器、管件等组成药液的循环过滤系统。实现药液的循环过滤，均匀流场。保证工艺槽药液温度和浓度的均匀性。

（3）废液回收和再利用：120℃以上强腐蚀性药液（如SPM）使用后废液如直接从工艺槽排至废液管道，由于温度高，将导致排液管道的损坏，引起安全事故，采用工艺槽内自然冷却的方法又耗时过长，影响生产效率。一般采用高温风囊泵将槽内药液输送至降温槽，在降温槽内降温后再排入排废管道，这种方法即节省了时间，又保证了生产的安全性，被业界所广泛采用。

PFA气动隔膜阀

选择阀门需要考虑的因素：

工作和环境温度、工作压力和压力等级、体积流量（Kv值）和流速、其他性能要求，例如混合、分配、控制和调节应用；

化学性质（惰性、腐蚀性、爆炸性）、机械性能（污染物、颗粒、气泡形成、磨损、粘度）、电性能（电导率、静电荷）、聚合状态；

所需的控制功能（手动、气动/液压、电动、磁力）；安全要求（防爆、危险挥发性物质、应急功能）、环境条件（洁净室、热/冷、多尘、振动、化学、潮湿、户外、盐水和腐蚀性蒸汽 => 腐蚀性环境条件）、现有工厂设计（PLC、现场总线/通信接口、控制介质）、遵守标准和法规。

流体的特定属性必须根据其所有相关的物理和化学属性进行检查。此外，不应忽视潜在的相互作用，例如温度、压力或基于浓度的攻击性之间的相互作用。

华林科纳自主研发的PFA气动隔膜阀采用高流量紧凑型设计，具有优良的耐腐蚀性能，工作周期经上千万次测试，使用寿命长，洁净室制造，纯度高。连接尺寸有1/2”、3/4”、1”，阀门本体材质为PFA，膜片材质为PTFE，顶部外壳材质为PE。

气动隔膜阀产品概要：

隔膜阀减少了隔膜和阀体之间的环形间隙，产品可应用于电子半导体行业、生物化学产业、医药制品生产线、石油化工产业、化学药剂产业。

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责任编辑：kj005