在半导体装备自主化的浪潮中，深圳市恒运昌真空技术股份有限公司用十年时间，完成了一场从技术追随者到市场挑战者的精彩蜕变。这家专注于等离子体射频电源系统的企业，正以其扎实的技术积累和卓越的产品性能，改写国内半导体核心零部件依赖进口的格局。上交所上市委员会发布公告，恒运昌将于2025年11月14日上会。

技术突破，实现从无到有

恒运昌的发展历程，是一部典型的硬科技企业成长史。公司成立初期，国内等离子体射频电源系统几乎完全依赖进口。面对这一局面，恒运昌毅然投入研发，从基础原理研究做起，逐步攻克技术难关。历经十年磨砺，公司先后推出CSL、Bestda、Aspen三代产品系列，成功打破了海外巨头长达数十年的垄断格局。其中，自主研发的第二代产品Bestda系列可支撑28纳米制程，第三代产品Aspen系列更可支撑7-14纳米先进制程，达到国际先进水平，填补了国内空白，成为半导体设备技术壁垒环节最关键的破局者。

研发为本，构筑创新体系

公司建立了完善的研发创新体系，报告期内研发投入持续增长，2025年1-6月研发费用达4,330.84万元，同比增长72.63%。公司研发人员占比高达42.13%，形成了一支经验丰富、创新能力强的技术团队。通过承担3项国家级重大专项课题，公司不仅获得了资金支持，更在技术攻关中提升了研发能力，形成了"生产一代、研发一代、储备一代"的良性发展格局。

品质为先，赢得市场认可

在半导体领域，产品质量是企业的生命线。恒运昌建立了严格的质量管理体系，通过了ISO9001质量管理体系认证。从原材料采购到生产制造，从产品测试到出厂检验，每个环节都有严格的品质控制程序。公司建立了完善的可追溯体系，确保任何质量问题都能追溯到源头。产品性能稳定性获得客户高度认可。公司先后获得拓荆科技"超卓伙伴奖"和"最佳交付奖"、微导纳米"最佳合作奖"等荣誉，体现了客户对公司产品品质和服务能力的充分肯定。

恒运昌的成长证明，在高端制造领域，唯有持之以恒的技术投入和精益求精的工匠精神，才能突破国外技术垄断，实现国产替代。

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责任编辑：kj012

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