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安徽易芯半导体:40 项专利攻克超大尺寸22寸硅晶体生长难题

安徽易芯半导体:40 项专利攻克超大尺寸22寸硅晶体生长难题
2025-07-29 10:05:16 来源:看点时报

在半导体材料国产化浪潮中,一家合肥企业历经近10年技术积淀,进行设备和工艺研发,终于突破全球超大尺寸22英寸硅单晶生长难题,实现全部核心设备设计和工艺技术自主可控,扛起超大尺寸单晶材料国产化供应的大旗。

安徽易芯半导体有限公司成立于2016年9月,坐落于合肥新站高新区,主要从事超大尺寸半导体硅晶体与硅片、全自动硅晶体生长炉的研发、生产、销售以及技术服务;是中国半导体行业协会、中国电子材料行业协会、合肥市半导体行业协会会员单位。

安徽易芯半导体研发和技术团队,用 16 年技术攻关和小批量量产,将 6-22 英寸电子级单晶硅棒及硅片,先后送进台积电,中芯国际,东京电子等全球一流晶圆厂和半导体设备厂,其硅部件材料业务稳居国内细分市场前三。

目前由英特尔背景管理团队和上海合晶背景技术团队,重新打造的超大尺寸半导体级硅单晶材料 "隐形冠军"安徽易芯,手握 40多项核心技术专利和国内外近百家行业头部客户上亿元订单达,正从合肥新站高新区的中试基地,向半导体超大尺寸硅材料规模化,产业化昂首挺进。

从送样到量产:16 年磨一剑的半导体材料突围

易芯半导体的成长轨迹,是中国半导体材料企业突破壁垒的缩影。2016 年公司在合肥注册成立时,半导体级大尺寸12寸硅单晶和硅片市场几乎全被日本信越化学,德国世创等国际巨头垄断。创始团队凭借着上海有色院和上海合晶的多年技术积累,从 6 英寸单晶晶体和硅片起步,2017 年开始送样验证,用 3年时间完成从8寸到12寸半导体功率芯片,实验室到小批量的量产。先后获得安徽省科技进步一等奖,安徽省重点新产品一等奖,合肥市高新技术产品奖等多项省市奖项,并迅速获得国家高新技术企业,安徽省专精特新企业等资质。

历史性突破发生在 2022 年,这一年安徽易芯20英寸硅部件用全球最大尺寸硅单晶研发成功,并通过国内第一大半导体硅部件企业重庆臻宝,送样中芯国际,上海华虹等国内头部半导体FAB认证成功,拿到首批千万级订单,当年公司实现近3000万销售额,财务报表由亏转盈。

易芯团队通过16年的坚守和技术研发进步,从晶体生长设备硬件到控制系统软件,从热场设计到晶体生长工艺,以及超大尺寸切磨抛工艺的成熟,全部工艺技术自主研发,自主制造,核心技术和knowhow完全自主可控。这种 "硬实力" ,让安徽易芯在 2023 年逆势获得上亿元FAB工厂超大订单,并获得德国,韩国以及日本等知名海外客户群企业订单,为易芯的进一步发展壮大奠定了国内外市场基础。目前易芯累计战略客户订单近3亿元,与国内头部企业重庆臻宝,北京亦盛,宁波盛吉盛等建立了长期稳定的供应关系,连续3年为重庆臻宝(国内第一大硅部件加工企业,年销售额近4亿元,IPO已获受理)第一大硅材料供应商。

40 项专利筑起技术高墙:从设备到材料的全链条自主可控

易芯的核心竞争力,藏在 "设备 - 材料 - 工艺" 三位一体的自主研发,自主创新,自主可控里,每一项突破都直指行业痛点和难点,实实在在的实现了设备硬件制造和晶体材料生长工艺一体化。

晶体生长设备自研制造是易芯核心竞争力和"杀手锏"。团队自主研发的 12英寸半导体级单晶炉,采用无磁场、独立加热器技术,能耗和硬件投入成本比业界低 50%;更惊人的是,全球最大 36 寸热场单晶炉已调试成功,可拉制 24 英寸超大尺寸单晶。2025 年 22英寸产品已对客户出货,单台设备年产值超 1500 万元。这种超大尺寸半导体级硅单晶生长技术的突破,打破了国际巨头对18英寸以上硅单晶材料的垄断,让中国在超大半导体级硅材料领域有了话语权,领先国内外3年以上的时间。

在材料端,公司构建起全品类产品矩阵:硅部件材料应用于晶圆厂刻蚀环节,占据国内细分市场前三;4-8 英寸抛光片适配微处理器、功率器件等芯片制造,外延衬底已通过英诺赛科等企业验证;氧化硅片则用于集成电路绝缘层和光学器件,成为华虹宏力的稳定供应商。更难得的是,安徽易芯同时掌握重掺与轻掺技术—— 重掺硅片中掺杂物浓度达千分之一,轻掺则低至十亿分之一,这种 "全谱系" 能力让其能满足不同晶圆厂的定制化需求。

40 多项核心技术专利是企业实力的最佳注脚。其中 "恒功率无温度信号控制长晶技术" 解决了大直径单晶生长的稳定性难题,"晶体加工切磨抛工艺" 将硅片平整度控制在微米级,两项成果分获安徽省和合肥市科学技术进步一等奖。这些技术不仅停留在纸面上,而是实实在在展现在每一颗超大尺寸单晶里。

安徽易芯超大尺寸22英寸硅单晶段

从合肥到全球:近3亿人民币订单背后的扩产加速度

半导体国产化的浪潮,正推着易芯加速奔跑。2025 年启动的二期新厂建设,计划总投资4 亿元,新增 25 台套大尺寸晶体生长设备和切磨倒角设备,2026 年投产后将形成 "6-24 英寸硅单晶材料全尺寸系列产品覆盖" 的格局,年产值预计突破 4.5 亿元。

客户结构的升级印证了其市场认可度。目前国内外 100 多家客户中,既有台积电、中芯国际这样的晶圆制造巨头,也有长江存储、合肥长鑫等存储芯片领军企业,甚至华为海思、京东方等终端厂商也将其纳入供应链。2025 年签订的近 3 亿元战略合作订单,更是创下公司成立以来的单笔新高,为易芯二期扩产项目奠定了良好的市场基础。

管理团队的产业资源,也迅速为易芯实现产业赋能,实控人杨金坡先生深耕半导体行业 20多年,资源丰富。杨总南开大学硕士毕业,资深光刻工程师技术背景出生,先后任职摩托罗大,中芯国际,Intel大连等主流芯片大厂;后历任中环股份,中欣晶圆,吉利科技等公司高管,以及北京清研,苏州德信,北京昌龙等第三代半导体SIC,第四代半导体氧化镓GaO材料和FAB公司总经理,曾参与和主导多个半导体项目从零到一的建设和量产工作;除了杨总本身的产业资源外,易芯股东层既有资深产业清华大学教授,也有各大FAB公司技术高管,为易芯的进一步技术和产品上台阶,做好了资源保证。

【创投观察】:在半导体材料国产化率不足40% 的当下,易芯的突围不仅是一家企业的成长故事,更是中国半导体产业链向上突破的缩影。随着二期产能释放,这家合肥黑马有望在大尺寸半导体材料领域写下更重更强的 "国产注脚"。

安徽易芯二期项目厂房选址

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责任编辑:kj005

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