华林科纳始于上世纪九十年代，“深耕”半导体湿法领域近三十年，专注于泛半导体湿制程装备和氟塑料流体产品的研发与生产，是湿法垂直领域引领型高科技企业。华林科纳现面向上下游的泛半导体湿法工艺装备及部件企业，建立服务平台----共享湿法数据，服务新品开发，加强行业交流，颠覆运行模式，重构行业生态。

PTFE材料的特性和规格

PTFE材料的化学名为聚四氟乙烯 ，这是一种具备许多极佳特性的半结晶含氟聚合物。这种含氟聚合物具备极高的热稳定性和化学抗性， 以及高熔点（-200℃至正260度，短期可达300℃）。此外，PTFE 产品 也具备绝佳的滑动特性、极佳的电气抗性以及非黏结表面。与其他塑料相比，机械强度较低，但比重则较高。为了強化机械特性，PTFE 塑料可用下列添加物强化。聚四氟乙烯通常利用压缩成型制程做成半成品，之后再利用切割／机修工具加工。

PTFE材料具备下列的特性 :

极高的化学抗性

极佳的耐温（-200℃至260℃，短期 可达300℃）

极低的摩擦系数

极低的表面张力（PTFE 通常不会使材料黏结，也难以黏合或焊接）

高热膨胀系数

相当低的强度／刚性

低介电常数

耐燃性

华林科纳风囊泵采用环境温度、超纯再循环和输送应用的理想解决方案。这些 PTFE 和 PFA 泵完全不含金属，并通过独特的梭阀运行，无需复杂的制动装置和手动重置。它们在两年保修期内持续安全可靠地运行。它们提供高达 7 Bar (100 psi) 的供气压力，并在流体温度高达 100°C (212°F) 的热循环应用中运行。该泵有 CSE30、CSE60 、 CSE120和CSE140 四种型号，最大流量分别为 30、60 、120 和140 lpm。

在泵内部，波纹管承受着工作负荷的冲击。 华林科纳独有的长寿命波纹管设计和多年成熟的制造经验。 该泵是由100%的PTFE粉末压制而成，这使它们非常适合用于处理苛刻的化学品使用的晶圆制造工艺。

华林科纳风囊泵产品参数：

无金属、无腐蚀

无弹性O型圈，无泄漏

没有电动机，没有热量上升

无叶轮，无微泡

可靠、安全的运行

流量≤140 lpm(37gpm)

排放压力≤150psi

压差≤69psi

各种配件选项

PEP涂层电缆

特点与优势：

磁悬浮驱动叶轮

电机旋转叶轮独立于稳定功能

用于高纯度化学品和DIW的工艺安全PTFE、PFA流路

无泄漏舌槽密封

低颗粒生成和低剪切可提高工艺产量并延长CMP再循环中的过滤器生命

没有阀门、轴承、旋转密封件或机械接触部件

减少磨损可增加正常运行时间并最大限度地降低维护成本

100%不含金属

过程安全的PTFE和PFA流路

防漏，机加工设计

无弹性O型圈、无泄漏、永不重新拧紧

CSE30、CSE60、CSE120 和CSE140分别经过 400、300 或 2 亿次以上循环的验证，具有可靠性。

风囊泵工作原理：压缩空气进入泵的气相工作腔后，压缩风囊变形移动，通过换向阀控制压缩空气依次进入两个气相工作腔工作，利用液相腔的交替吸液排液，实现对液体的输送。

图解：这是一种无制动梭阀设计，可通过最大限度地减少振动、脉动和磨损来提高性能和可靠性。

温度限制

温度限制图解

操作安装：请勿通过梭阀组件或空气管提升泵

安装方向：必须安装在直立位置。止回阀由重力和/或流量驱动，如果泵不直立，则不会座。

计时器方式：泵需要结束行程检测机构（压力开关）以防止在定时模式下过行程。在没有行程检测的定时器模式下操作将取消泵保修

所需的空气流量（穿梭阀）：需要1/4英寸的最小孔口和不受限制的气流。

所需的气流（电磁阀）：需要一个1.5 Cv的电磁阀。使用减少的Cv将降低流量。使用Cv大于20%的阀门将改变操作参数，减少泵的寿命并使保修无效。

空气供应不足：在供气不足时运行不正常或熄火。确保使用的供气压力高于性能图表中的平均空气消耗线。供气管道和配件必须满足安装说明中显示的最小内径要求。

供气压力：低于最大气压35%可以显著延长泵的寿命。泵要求最低空气压力为20 psi。超过7巴（100 psi）的操作可能会损坏泵并使保修失效

液体入口/出口连接：液体端口不是NPT或任何其他标准。使用非华林科纳提供的连接器将损坏泵和保修无效。

液体管线限制：可以通过关闭液体出口管线来进行控制。然而，限制液体供应线会增加磨损，并应避免。请勿吸入封闭的液体入口。它会损坏泵，使保修失效。

带有穿梭阀的脉冲减振器：当使用脉动减振器时，对泵的空气供应压力应至少比液体管道压力高出10psi。如果不这样做，可能会导致操作不稳定。

压力开关行程检测电气连接：

NPN                                         PNP

华林科纳风囊泵配件包括仪表、过滤器、控制器、高纯闭环控制系统、循环率转换器等。

为更好的服务客户，华林科纳特别成立了监理团队，团队成员拥有多年半导体行业项目实施、监督、控制、检查经验，可对项目建设全过程或分阶段进行专业化管理与服务，实现高质量监理，降本增效。利用仿真技术可对未来可能发生的情况进行系统的、科学的、合理的推算，有效避免造成人力、物力的浪费，助科研人员和技术工作者做出正确的决策，助力工程师应对物理机械设计和耐受性制造中遇到的难题。

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责任编辑：kj005