创新,是推动半导体行业增长的不竭动力。在这一过程中,以专利为核心的知识产权,为行业创新提供了坚实支撑。高频科技作为聚焦于芯片制造等电子核心产业的超纯水系统供应商,依托坚实的知识产权体系,致力于超纯工艺技术的持续创新,为客户业务的持续发展与壮大提供强力支持。

知识产权赋能,超纯工艺迈向新高度

在半导体制造领域,超纯水的质量直接决定了晶圆的品质与性能。为此,半导体行业对超纯水的要求极为严苛,需达到99.9999999999%的水分子纯度,金属离子、总有机碳(TOC)、溶解氧等杂质的含量也必须维持在极低的水平,以确保晶圆的制造过程不受水质影响。这一严苛要求,无形中提升了超纯水工艺的技术门槛。

在这一背景下,高频科技依托高素质人才团队的力量,持续增强研发投入与创新精度,成功解决了多项行业技术难题,并积累了70余项知识产权成果,涵盖发明专利、实用新型专利、软件著作权等。该公司研发的超纯水系统集成了多项跨学科技术,实现了ppt级别的超纯水制备,打破了国际厂商在高端市场的垄断。作为国内极少数能够在芯片领域提供超纯水系统的企业,且是国内首个具备12英寸14nm芯片产线超纯水制备能力的供应商,高频科技持续推动行业技术发展,满足市场对高标准超纯水的需求。

创新赋能,降本增效促发展

在半导体领域,降低成本与实现可持续性已成为企业关注的焦点。尤其是水资源的再循环和回收利用,成为节约资源和推进可持续发展的关键途径。众多半导体企业正积极与掌握该技术的供应商携手,共同推进这一实践。其中,高频科技在该领域表现突出,引领着行业创新步伐。

高频科技电子级废水处理技术能针对不同杂质特性实施高效且经济的处理方案。通过整合多级化学混凝、氨氮吹脱和生物处理等工艺,有效处理复杂芯片废水,实现污染物深度清除。公司能处理超15种芯片废水,覆盖先进制程产线所有废水类型,确保处理效率高且成本低。

高频科技还具备前瞻性的设计能力,基于对制程工艺的深刻理解,通过合理规划整个工厂的用水平衡,能够对制程机台产生的30多道废水进行合理的分流、回用,结合适当的处理设备,实现项目水平衡的高效管理,提高整厂用水制备回收率至90%,为企业节约成本,增强效益与可持续发展能力。

半导体知识产权的合理利用与创新技术的不断探索,共同引领着行业的蓬勃发展。高频科技作为深植创新精神品牌基因的超纯水系统供应商,将持续专注于超纯水技术的研发与创新,致力于向客户提供领先的超纯水制备与循环使用方案,在确保满足高标准工艺用水需求的同时,实现水资源可持续发展。

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