近日,国新办举行的2023年上半年国民经济运行情况新闻发布会指出,上半年半导体相关行业制造业增长较快,半导体器件专用设备制造业增加值增长30.9%。国内半导体设备市场的整体实力及国产化率的持续增长,已经标志着国内半导体产业链不断完善。

而电子行业是国民经济发展的支柱性产业,包括半导体、光学光电子、元件、电子制造以及其他电子等五大细分行业。而超纯水是电子行业的关键生产要素,广泛应用于半导体芯片和光学光电子液晶面板的制备过程,如产品清洗、药剂稀释、光刻系统和冷却等环节,并且使用量较大。

超纯水工艺现已成为半导体制程中极为重要的关键因素

在电子行业中,不同应用诸如半导体、液晶面板及各种电子元器件对超纯水的要求也各不相同。其中半导体代表了超纯水使用的“最高等级”。而半导体先进制程对杂质的敏感度更是极高,以一个中国大陆在建的12寸先进制程晶圆厂为例,按照美国ASTM标准,超纯水品质要达到以下苛刻的要求:电阻率≥18.20,颗粒<100pcs/L,TOC<0.5ug/L,溶解硅<0.3ug/L,硼<10ng/L,细菌<1cfu/L。

半导体超纯水系统是一种设计复杂、运行精密、材料选择讲究的工业水处理系统,它由众多子系统、功能单元和配套系统组成,对工艺要求极高。这对于起步相对较晚的中国本土超纯水行业来说,无疑是一个不小的挑战。然而,挑战也意味着机遇。一些本土企业通过加强研发能力、提高技术水平、优化生产流程,逐步攻克技术难关,以更可靠、高效的超纯水解决方案,满足半导体行业对水质的严苛要求。高频科技就是这些具有创新精神和研发能力的本土超纯水企业的代表。

高标准级超纯水工艺助升半导体实现高良率

高频科技聚焦超纯水国际化标准,通过自主研发和创新突破,目前已经掌握了先进半导体制程所需的超纯水全部核心工艺。特别是在ppb级别的TOC、溶解氧去除,以及ppt级别的硼、硅等特殊物质的去除方面优势显著,实现领先于行业的技术成果其产水水质接近绝对纯度,电导率无限接近18.24MΩ•厘米的理论极限值,其纯度可达99.9999999999%(ppt 级别——万亿分之一),以“纯度”护航半导体良率,满足半导体制程升级过程中不断提高的用水需求。

超纯水工艺及循环再生系统,全面提升水利用率

不仅如此,作为立足于超纯工艺能力的工业级技术服务商,高频科技不止步于芯片、显示等半导体高端制造业领域,通过提供领先的超纯水与循环再生解决方案及装备,更是助力半导体企业提升良品率和水资源利用效率,实现高效可持续发展。依托行业经验、技术、人才等优势能力,为了帮助企业提升水资源利用率,高频科技研发打造的废水循环再生系统,可以帮助半导体企业减少废水量、减少用水量、减少能耗、减少化学品使用、减少设备使用损耗,通过保障水制程回收率(可达75%～90%)、保障微量元素回收利用等来实现绿色厂务,满足降本增效可持续发展目标。

半导体企业之间的竞争不仅体现在市场规模上,还体现在企业的技术水平、产品质量、成本控制能力等方面。高频科技作为行业代表性的本土超纯水企业,以先进超纯水工艺和强大的探索创新能力,全面满足半导体企业对稳定的产品质量、良好的成本控制等多方面的需求。在未来,高频科技将不断增强研发和创新能力,通过更多创新性应用成果得落地,为行业高质量发展做出贡献。

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