华林科纳成立于2008年，是一家涉及半导体、太阳能光伏、电子化工等多个产业，集产品销售和技术方案支持为一体的综合性战略服务商。公司自有土地10亩，厂房面积5000平，千级洁净间800平米，百级洁净间200平米，设备产能300台套/年，PFA管产能10万米/月。

半导体资材部产品：PFA管、入珠接头、扩口接头、焊接接头、风囊泵、气动隔膜阀、单向阀、PFA系列全氟滤芯、过滤器壳、各类加工件、磁制液位计、加热丝、在线加热器、PFA保护层电线等。

今天为大家讲解如何对滤芯进行完整性测试。

滤芯是过滤器的“心脏”，滤芯的好坏直接决定了过滤器的过滤能力，因此对滤芯进行完整性检测非常重要。只有通过完整性测试的滤器，才能保证整个过滤过程中的效率。

滤芯结构

华林科纳PFA系列全氟滤芯

华林科纳PFA系列全氟滤芯采用高洁净度的PTFE膜和PFA氟材料制作，适用于所有流体（强酸、强碱等）液体过滤。

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·封口有多种型号可选

·滤膜孔径分布均一

·加强支撑层，高压工作下无破损

·折叠设计增加过滤表面积

·中心杆及端盖均采用热熔焊接技术

·洁净室生产

·100%完整性测试

什么是膜的完整性

（污染物大于膜孔）

完整滤膜                                   非完整滤膜

可以清晰的看到，完整滤膜下游是没有任何污染物的，而非完整滤膜存在的缺陷会是使下游存在污染物，影响过滤效果。

滤芯完整性测试的三种方法

1.起泡点试验

测试原理：

需要一定压力才能使气体冲破已经湿润的滤膜，气体大量从膜孔流出这一点的压力值是这个膜的泡点。

测试方法：

① 在下游（滤器出口管）充满液体，缓慢加压后，下游管子流出的液量突然增加时，此时的压力即为起泡点压力；

② 在下游管子没有液体，缓慢加压后，至有连续不断的气泡流出，此时的压力即为起泡点压力。

滤芯泡点测试试验装置            膜片泡点测试试验装置

起泡点试验图：

2.扩散流试验

测试原理：

当滤膜被液体润湿后，上液通入压缩空气或氮气；当膜两侧存在压力差时，气体分子溶解至液体中并在膜的另一侧扩散出来。该扩散气体的流量即为扩散流。

测试方法：

当用仪器来测扩散流时，需要补充气体的流量以保持上游压力不变(低于泡点压力)，来测得从上游扩散至下游的流量。

扩散流试验图：

3.压力保持试验

测试原理：

压力保持试验原理与气体扩散试验原理相同，只是测量的参数不同。压力保持是检测在一定时间内扩散流引起的上游压力的衰减。扩散流与上游体积无关，而压力保持试验必须考虑上游体积。

测试方法：

当测试气体的压力升高到给定数值时（一般为测扩散流时的压力），关闭气源，气体通过膜孔里的水扩散出去，导致上游压力的损失。通过检测在一定时间内上游压力损失的情况判断滤器的完整性。

为更好的服务客户，华林科纳特别成立了监理团队，团队成员拥有多年半导体行业项目实施、监督、控制、检查经验，可对项目建设全过程或分阶段进行专业化管理与服务，实现高质量监理，降本增效。利用仿真技术可对未来可能发生的情况进行系统的、科学的、合理的推算，有效避免造成人力、物力的浪费，助科研人员和技术工作者做出正确的决策，助力工程师应对物理机械设计和耐受性制造中遇到的难题。