12月28日,北京微电子国际研讨会暨IC WORLD大会盛大开幕。本次大会以“蓄势起航,焕然一芯”为主题,以高规格、系列化的学术会议活动与博览会的有机联动,全面整合行业资源,追踪前沿动态,激发市场创新可行性,积极推动形成集成电路产业链联动发展新态势,推进产业聚集化、链条化、高端化发展。

作为与集成电路生产息息相关的超纯水领域科技企业,高频科技受邀出席并参展。高频科技总经理丘文涛介绍,国产半导体的前行之路正处于爬坡阶段,想要快速突破需要建立起成熟的半导体产业链。超纯水作为半导体生产中至关重要的一环,在新的竞争格局之下,不仅对超纯水的纯度要求更高,水的循环再生也成为一个新的课题。

领先超纯工艺引业界围观

高频科技作为行业领先的本土超纯工艺技术企业,专注于芯片、显示等半导体高端制造业二十多年,为半导体高端制造等行业客户提供领先的超纯水与循环再生解决方案及装备。

大会当天,高频科技通过3D模型向公众展示了业界领先的超纯水系统,该系统融合了物理、化学、光化学、机械、空气动力学、流体力学等多项学科,严格控制水中的颗粒物、阴阳离子、特殊离子、TOC(总有机碳)、微生物、溶解气体等等,保证产水水质接近绝对纯度,电导率无限接近18.24MΩ的理论极限值,起纯度可达99.9999999999%(PPT级别——万亿分之一),确保半导体工厂超纯水体系化生产与回用的安全性、稳定性、连续性。

完善的专家运维服务体系也是高频科技本次参展的亮点之一,高频科技依托公司大批自有优秀半导体水系统专家的资深经验,创立标准化运维服务专家模型,为半导体工厂量身定制一体化运维服务体系,满足客户全周期运维需求,规范管理、降本增效。此系统将逐步实现专家数据化,并配备半导体专用关键工艺耗材及化学药剂的研发和应用,通过智能化、数字化运维让客户感到更加省事和舒心。

有业内人士参观后评论称,半导体产业水量消耗大、水质要求高、工艺过程长,高频科技的水系统既能满足前端生产的需要,还能提升企业综合竞争力,体现了系统的整体性与科学性。

绿色水系统实现“零排放”级

高频科技总经理丘文涛指出,当今社会已经进入以半导体技术为核心的信息时代,而引导社会发展的不仅仅是生产全球最先进的产品,同时也包括在环保方面打造世界最高水平的绿色经营系统。

此前,国家发改委、生态环境部等引发了《电子器件(半导体芯片)制造业清洁生产评价指标体系》,指导和推动半导体制造企业依法实施清洁生产,提高资源利用率。同时,全球化趋势的不可逆使得半导体产业形成了技术、产能、成本的全面竞争,构建绿色工厂已经成为半导体产业新的课题。

绿色工厂的关键在于构建绿色水系统,提高企业水利用率。高频科技在半导体超纯水领域深耕二十余年,积累了丰富的经验,从事前规划、科学运维和技术创新等维度,在工艺端实现技术突破,在厂务端打造完善的纯水系统和废水系统,通过工艺技术创新、材料产品替代、检验侦测替代、运维模式创新等,实现超纯水循环再生提纯,帮助半导体工厂节水且节能,既确保水质程回收率达75%～90%。

丘文涛表示,数字经济、新基建正成为我国集成电路产业发展的重要驱动力,复杂的外部产业环境变化也为我国集成电路产业带来全链突破、加速发展的历史性机遇,高频科技也将积极创新突破,助力中国“芯”发展。

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