近日，专注半导体工业高端超纯水系统研发的高新技术企业 —— 中鼎联盛科技有限公司（以下简称 “中鼎联盛”）正式签约入驻企知道科创平台，在深化半导体超纯水装备技术创新、拓展产业生态合作上迈出关键一步。作为国家级高新技术企业，中鼎联盛深耕半导体超纯水装备领域13年，持续聚焦“14nm及以下先进制程高精度用水”核心需求，目前已成为国内半导体高端超纯水系统细分赛道的核心供应商。2024年，公司主导产品“半导体工业高端超纯水系统”国内市场占有率已超过10%，在本土同类企业中稳居前列，为半导体关键用水装备国产化提供核心支撑。

专注高端超纯水装备，筑牢技术与品质护城河

中鼎联盛成立于 2011 年，扎根 “集成电路及专用设备集群” 核心区域，始终专注半导体工业高端超纯水系统的研发、生产与服务。产品通过精准控制水质电阻率（稳定≥18.24MΩ・cm）、颗粒含量（≥0.1μm ≤1个/mL），为光刻、刻蚀、薄膜沉积等半导体先进制程工序提供高稳定用水保障，是半导体制造产业链上游关键装备供应商。公司现已通过 ISO9001质量管理体系认证，凭借严苛的品质管控与技术实力，先后获评“国家级高新技术企业”“江苏省创新型中小企业”等荣誉，树立起半导体超纯水装备领域的品质标杆。

在技术攻坚上，中鼎联盛围绕 “水质精准控制、多工艺动态适配、极端工况稳定” 三大核心目标实现突破：一是研发 “高精度水质传感+机器视觉颗粒识别”耦合技术，实时捕捉水中微颗粒，保障电阻率长期稳定，破解多工艺段用水参数波动痛点；二是构建 “制备-输送-监测闭环系统+自适应管路”，结合PLC智能控制算法，多工艺切换响应时间＜5s，适配 14nm及以下先进制程，攻克了传统系统动态适配滞后难题；三是开发“动态过滤调控+惰性气体保护腔体”，优化换热器翅片结构，低温工况结霜率降低90%，有效解决了水质长期稳定性不足问题，并且温湿度协同控制精度也远超行业平均水平。

产学研协同发力，加速成果转化与国产替代

为持续强化技术壁垒，中鼎联盛深化产学研合作，依托企业研发中心与苏州科技大学建立紧密协同机制，联合开展“半导体工业高端超纯水系统设计与研发”项目。苏州科技大学研发通过高精度水质传感集成模块与自适应输送管路，保障参数稳定；采用机器视觉+激光识别与闭环系统，解决用水波动；中鼎联盛则聚焦核心模块量产转化，将合作研发的水质传感模块、自适应输送组件快速落地生产，实现技术向产品的高效转化。

依托技术创新，中鼎联盛成功打破日本栗田工业（ULTRA PURE 系列）等国际巨头的市场主导格局。公司产品在水质稳定性、多工艺适配性等关键指标上达到国际先进水平，而采购成本仅为进口设备的70%-80%，大幅降低了国内半导体企业研发与生产成本。截至目前，中鼎联盛的核心技术已转化为 30 项知识产权，其中2项为发明专利、16 项实用新型专利、12项软件著作权，所有知识产权均深度应用于核心产品。公司现已成为厦门云天等头部半导体企业的“国产替代首选方案”，填补了国内 14nm及以下制程高端超纯水系统自主可控的技术空白。

携手企知道，科创引领行业转型升级

随着半导体制程向7nm及更先进节点迭代，核心工序对超纯水的纯度、稳定性需求愈发严苛。为加速数字化转型，强化科技创新与成果转化能力，中鼎联盛签约入驻企知道科创平台。

此次合作，中鼎联盛将依托科创空间“资源对接+技术赋能”解决方案，精准对接高校专家与半导体产业创新成果，打通“核心模块研发-整机测试-量产适配”创新链条，加速多应力耦合调控、数字孪生水质监测等新技术落地；同时借助平台产业链图谱与招投标动态功能，深入挖掘长三角、珠三角等半导体产业核心区的潜在客户与优质供应商，提升公司拓客效率，进一步扩大市场份额与品牌影响力。

展望未来，中鼎联盛将继续深耕半导体工业高端超纯水系统核心技术领域，重点拓展 7nm制程用水适配、氢氟酸体系超纯水处理等新场景，推动设备向“更高纯度、更快响应、更低碳耗”三大方向升级。同时，公司将以技术与市场双重优势，为下游半导体企业提供高性价比用水装备，推动半导体产业向高端化、自主化转型，助力中国半导体超纯水装备在全球竞争中占据核心位置。

责任编辑：kj015

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